Manipulatoren

5-Achsen-Manipu-für-Raster-X-Y1

5-Achsen-Manipulator für ein Rasterelektronenmikroskop

der Firma FEI Company für die Untersuchung von Proben bis Ø 5 Zoll und einem Gewicht von bis zu 2 kg.

 
Verfahrwege  
X- und Y-Achse: 155 mm
Z-Achse: 10 mm
Tilt-Achse: -10° + 60°
Rotations-Achse: 360°
   
X-, Y- und R-Achse sind ausgestattet mit Piezomotoren.
   
Verfahrgenauigkeit: 0,5 µm
Reproduzierbarkeit: 1 µm
Auflösung: 0,2 µm (Messsystem von Heidenhain)

5-Achsen-Manipu-für-Raster1

5-Achsen-Manipulator für ein Rasterelektronenmikroskop

der Firma Zeiss für die Untersuchung von Proben bis Ø 4 Zoll und einem Gewicht von bis zu 2 kg.

   
Verfahrwege  
X- und Y-Achse: 130 mm
Z-Achse: 50 mm
Tilt-Achse: -4° + 70°
Rotations-Achse: 360°
   

X-, Y- und R-Achse sind ausgestattet mit vakuumtauglichen Schrittmotoren.

   
Verfahrgenauigkeit: 0,5 µm
Reproduzierbarkeit: 2 µm

Manipulator-für-Raster1

5-Achsen-Manipulator für ein Rasterelektronenmikroskop

der Firma FEI Company für die Untersuchung von Proben bis Ø 4 Zoll und einem Gewicht von bis zu 2 kg.

   
Verfahrwege  
X- und Y-Achse: 100 mm
Z-Achse: 65 mm
Tilt-Achse: -4° + 70°
Rotations-Achse: 360°
   
Die Achsen werden über außenliegende DC-Motoren angetrieben. Die Verfahrgenauigkeit der X- und Y-Spindel wird mittels Encoder bewerkstelligt.
   
Verfahrgenauigkeit: 0,5 µm
Reproduzierbarkeit: 3 µm

3
4-Achsen-Manipulator für eine UHV-Anlage
   
Verfahrwege
X- und Y-Achse: 315 mm
Z-Achse: 25 mm
   
X- und Y-Achse sind ausgestattet mit Piezomotoren.
   
Verfahrgenauigkeit: 0,5 µm
Reproduzierbarkeit: 20 µm
Messsystem: Renishaw

5-Achsen-Manipu-für-UHV-A1

5-Achsen-Manipulator für eine UHV-Anlage

der Firma ION-Tof für die Untersuchung von Proben bis Ø 8 Zoll und einem Gewicht von bis zu 1 kg.

   
Verfahrwege  
X-Achse: 100 mm
Y-Achse 70 mm
Z-Achse: 30 mm
Tilt-Achse:

-15° + 45°

Rotations-Achse: 360°
   
Die Achsen werden über außenliegende DC-Motoren angetrieben.
   
Verfahrgenauigkeit: 1 µm
Reproduzierbarkeit: 3 µm

probenscanner1

Hochpräziser Probenscanner / Manipulator

 
Verfahrwege  
X- und Y-Achse: 130 mm Hub
Z-Achse: 40 mm Hub

Modul-für-Heiz-und-Zugversuche1

Modul für Heiz- und Zugversuche

aufgesetzt auf einen 5-Achsen-Manipulator der Firma Zeiss mit einer Zugkraft von 1000 kg.

   

Mit dem Zugmodul können mechanische Belastungswerte gemessen und gleichzeitig die Veränderungen der Probenoberfläche im Mikroskop beobachtet werden