Manipulatoren

5-Achsen-Manipulator für ein Rasterelektronenmikroskop

der Firma FEI Company für die Untersuchung von Proben bis Ø 5 Zoll und einem Gewicht von bis zu 2 kg.


Verfahrwege
X- und Y-Achse:	155 mm
Z-Achse:	10 mm
Tilt-Achse:	-10° + 60°
Rotations-Achse:	360°
X-, Y- und R-Achse sind ausgestattet mit Piezomotoren.
Verfahrgenauigkeit:	0,5 µm
Reproduzierbarkeit:	1 µm
Auflösung:	0,2 µm
(Messsystem von Heidenhain)

der Firma Zeiss für die Untersuchung von Proben bis Ø 4 Zoll und einem Gewicht von bis zu 2 kg.


Verfahrwege
X- und Y-Achse:	130 mm
Z-Achse:	50 mm
Tilt-Achse:	-4° + 70°
Rotations-Achse:	360°
X-, Y- und R-Achse sind ausgestattet mit vakuumtauglichen Schrittmotoren.
Verfahrgenauigkeit:	0,5 µm
Reproduzierbarkeit:	1 µm

für die Untersuchung von Proben bis Ø 4 Zoll und einem Gewicht von bis zu 2 kg.


Verfahrwege
X- und Y-Achse:	100 mm
Z-Achse:	45 mm
Tilt-Achse:	+ 70°
Rotations-Achse:	360°
Die Achsen werden über außenliegende DC-Motoren angetrieben. Die Verfahrgenauigkeit der X- und Y-Spindel wird mittels Encoder bewerkstelligt.
Verfahrgenauigkeit:	2 µm
Reproduzierbarkeit:	3 µm


Verfahrwege
X- und Y-Achse:	315 mm
Z-Achse:	25 mm
X-und Y-Achse sind mit Piezomotoren ausgestattet. Alle Achsen sind mit Messsystemen ausgestattet.
Verfahrgenauigkeit:	1 µm
Reproduzierbarkeit:	0,5 µm

für die Untersuchung von Proben bis Ø 8 Zoll und einem Gewicht von bis zu 1 kg.


Verfahrwege
X-Achse:	100 mm
Y-Achse:	70 mm
Z-Achse:	30 mm
Tilt-Achse:	-15° + 45°
Rotations-Achse:	360°
Die Achsen werden über außenliegende DC-Motoren angetrieben.
Verfahrgenauigkeit:	1 µm
Reproduzierbarkeit:	3 µm


Verfahrwege
X- und Y-Achse:	130 mm
Z-Achse:	40 mm
Antrieb über Schritt-/DC- oder Piezomotoren. Alle Achsen sind mit Messsystemen ausgestattet.

aufgesetzt auf einen 5-Achsen-Manipulator der Firma Zeiss mit einer Zugkraft von 1000 kg.

Mit dem Zugmodul können mechanische Belastungswerte gemessen und gleichzeitig die Veränderungen der Probenoberfläche im Mikroskop beobachtet werden.

für Rasterelektronenmikroskope